它是利用一些金屬氧化物半導體材料mems甲烷傳感器，在一定溫度下mems甲烷傳感器，電導率隨著環(huán)境氣體成份mems甲烷傳感器的變化而變化的原理制造的比如，酒精傳感器，就是利用二氧化錫在高溫下遇到酒精氣體時，電阻會急劇減小的原理制備的優(yōu)點半導體式氣體傳感器可以有效地用于甲烷乙烷丙烷丁烷酒精甲醛一氧化碳二氧化碳乙烯乙炔氯。
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