1、傳感器是能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置的總 稱通常被測(cè)量是非電物理量memsvoc氣體傳感器，輸出信號(hào)一般為電量當(dāng)今世界正面臨一場(chǎng)新的技術(shù)革命memsvoc氣體傳感器，這場(chǎng)革命的主要基礎(chǔ)是信息技術(shù)memsvoc氣體傳感器，而傳感器技術(shù)被認(rèn)為是信息技術(shù)。

2、4工業(yè)控制MEMS芯片在工業(yè)控制和自動(dòng)化系統(tǒng)中扮演著重要角色壓力傳感器加速度計(jì)和傾斜傳感器等可以用于監(jiān)測(cè)機(jī)器設(shè)備的狀態(tài)memsvoc氣體傳感器，實(shí)現(xiàn)故障診斷和預(yù)測(cè)維護(hù)此外，MEMS流量計(jì)和氣體傳感器也廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程控制和環(huán)境監(jiān)測(cè)中5。

3、它是微電子機(jī)械系統(tǒng)中不可缺少的零件正是這個(gè)零件，使我們的生活多memsvoc氣體傳感器了許多機(jī)器用來(lái)代替人工，可以讓我們有更多的時(shí)間去做其他的事情，下面就來(lái)詳細(xì)介紹一下它機(jī)油壓力傳感器MEMSMicro Electromechanical System，即微電子機(jī)械。

4、5紅外線氣體傳感器 大部分的氣體在中紅外區(qū)都有特征吸收峰，檢測(cè)特征吸收峰位置的吸收情況，就可以確定某氣體的濃度 這種傳感器過去都是大型的分析儀器，但是近些年，隨著以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的傳感器工業(yè)的發(fā)展，這種傳感器的體積已經(jīng)由10升。

5、1微機(jī)械壓力傳感器微機(jī)械壓力傳感器是最早開始研制的微機(jī)械產(chǎn)品，也是微機(jī)械技術(shù)中最成熟最早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品從信號(hào)檢測(cè)方式來(lái)看，微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機(jī)械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。

6、二是增強(qiáng)可靠性，實(shí)現(xiàn)元件和應(yīng)用電路集成化，多功能化，發(fā)展MEMS技術(shù)，發(fā)展現(xiàn)場(chǎng)適用的變送器和智能型傳感器如美國(guó)GeneralMonitors公司在傳感器中嵌入微處理器，使氣體傳感器具有控制校準(zhǔn)和監(jiān)視故障狀況功能，實(shí)現(xiàn)了智能化還有前。