可以把它理解為利用傳統(tǒng)9軸mems傳感器的半導(dǎo)體工藝和材料9軸mems傳感器，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機(jī)械9軸mems傳感器，并將其與對應(yīng)電路集成為一個整體的技術(shù) MEMS傳感器的種類繁多，Gsensor是MEMS傳感器的一種GsensorGravity sensor，重力傳感器，又名加速度傳感器accelerometer，是能感知加速度大小的MEMS傳感器如圖中的模型。

MEMS芯片用途1移動設(shè)備MEMS芯片在移動設(shè)備中扮演著重要的角色加速度計和陀螺儀是最常見的MEMS傳感器之一，它們用于檢測設(shè)備的加速度和方向變化，實現(xiàn)自動旋轉(zhuǎn)屏幕手勢識別和游戲控制等功能此外，MEMS麥克風(fēng)也被用于實現(xiàn)噪音抑制和語音識別2汽車領(lǐng)域MEMS芯片在汽車中有多種應(yīng)用例如，氣囊。

最后，在光纖通信領(lǐng)域，光學(xué)MEMS芯片也有許多應(yīng)用它可以用作光衰減器，改善光信號的傳輸品質(zhì)可以用于調(diào)節(jié)光纖中的光路，實現(xiàn)不同波長光的傳輸還可以用于光纖光學(xué)傳感器，監(jiān)測線路的損壞溫度壓力等參數(shù)總之，光學(xué)MEMS芯片在現(xiàn)代通信技術(shù)中扮演著非常重要的角色，促進(jìn)了人們的信息交流和技術(shù)革新。